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MF-OV系列無氧烘箱(水平送風)
    發(fā)布時間: 2023-06-28 09:55    

MF-OV系列無氧烘箱設備是專門設計用來滿足半導體行業(yè)集成電路配套烘箱,它具有先進的設計理念與工藝技術,可滿足不同產(chǎn)品的品質(zhì)要求。


MF-OV系列無氧烘箱(水平送風)

用途特點:

本產(chǎn)品適用于半導體加工,LCD面板,PDP面板,觸摸屏等生產(chǎn)工藝;該設備采用加熱循環(huán)方式,進行精確的溫度控制。

技術特點: 

采用水平送風系統(tǒng)的高性能腔體;

烘箱采用雙體式腔設計,內(nèi)腔采用全不銹鋼鏡面,并且為整體式焊接工藝,保證了設備在運行時的腔體內(nèi)清潔和預防了產(chǎn)品表面沾污;

整體框架的高度和水平度可通過地腳螺栓實現(xiàn)微調(diào);

優(yōu)異的熱工性能,使加熱性能大大提高;

雙層密封設計,保證更低的能耗,滿足清潔生產(chǎn)的需求。

過程控制:

多段式程序控制,完全滿足現(xiàn)場各種工藝需求;

與配套AUTORECIPE軟件,實時溫度監(jiān)控軟件,可實現(xiàn)產(chǎn)品烘箱運行參數(shù)管理與生產(chǎn)運行記錄、烘箱操作日志等,提高生產(chǎn)效率、控制產(chǎn)品品質(zhì)。

設備特點:

堅持工藝優(yōu)先的設計原則,即先制定最為優(yōu)化的工藝配置,再確定設備結(jié)構(gòu)和布局,以確保工藝最穩(wěn)定,材料利用最合理,力求提升設備穩(wěn)定性和降低運行成本;

本著人性化的設計理念,即在細節(jié)上充分考慮現(xiàn)場情況,并不斷完善設計,使現(xiàn)場使用者更加方便地使用,維護本烘箱;

可以提供各種標準和非標準腔設計,包括溫度范圍,容量大小和烘箱形狀等;

溫度均勻度依照GBT30435-2013

設備安全符合TS16949/ISO14001/OHAS18001的標準;

提供高性價比的烤箱性能,溫度均勻性、溫度穩(wěn)定性、升溫速率、溫度恢復時間等工藝條件;

滿足SECS/GEM標準的半導體封裝測試設備接口,工廠軟件可通過其SECS/GEM接口對烘箱進行全面控制和監(jiān)控;

提供相應的檢測報告,烘箱溫度校正報告、烘箱噪音檢測、烘箱表面SGS檢測等;

配套完整的產(chǎn)品使用手冊及說明。

   

型號

MF-OV****

1800

2640

2700

4500

循環(huán)系統(tǒng)

熱風循環(huán)系統(tǒng)

性能參數(shù)

溫度范圍

RT. + 25°C ~250°C

溫度波動范圍

0-100℃<±1℃100-200℃<±2℃

溫度均勻性

0-100℃<1℃100-200℃<2℃

升溫時間

< 30Min175℃&  < 40Min200℃

烘箱結(jié)構(gòu)

烘箱外腔體選材

烤漆板、樹脂類板、不銹鋼

烘箱內(nèi)腔體選材

SUS304鏡面不銹鋼

保溫材料

高密度陶瓷纖維棉

加熱

無塵加熱絲或不銹鋼加熱管

冷卻方式

水冷卻、風冷卻、多段式冷卻

內(nèi)腔尺寸W *H *D mm

800 *640* 960

640 *640 * 550

700 *640 * 560

500 *640* 500

外形尺寸W * H *D mm

1500 * 900 * 1830

1400* 1050 * 1900

1460 * 1050 * 1900

2340 * 1050 * 1900

容積 (L)

490

450

490

640

使用環(huán)境

溫度范圍: 小于 + 45°C  濕度范圍: 小于 75%rh

動力配置

電源配置

AC380V 3PH

AC380V 3PH

AC380V 3PH

AC380V 3PH

烘箱功率

13KVA

20KVA

20KVA

40KVA


基本功能配置:

漏電保護器;

電磁門鎖;

加熱保險絲;

電源缺相保護;

超溫保護器;

低溫保護器;

加熱器防干燒保護;

馬達轉(zhuǎn)速檢測保護;

UPS;

N2壓力檢測;

N2流量檢測;

水流量檢測;

功能選配:

腔體氧含量在線檢測;

高低溫聯(lián)動檢測;

腔體壓力檢測;

自動排風閥;

廢氣沉淀回收裝置;

腔體空燒排污;

腔體內(nèi)除塵過濾網(wǎng)裝置;










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郵箱:shanghai@mfinetech.com
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