用途特點(diǎn)：

本產(chǎn)品適用于半導(dǎo)體加工，該烘箱采用垂直熱循環(huán)方式，進(jìn)行精確的溫度控制。

技術(shù)特點(diǎn)： 

采用垂直送風(fēng)系統(tǒng)，垂直腔體模塊安裝在垂直腔體頂部，與傳統(tǒng)安裝方式相比，減少安裝空間20-60%。提高生產(chǎn)線生產(chǎn)效率，節(jié)省設(shè)備空間；

內(nèi)腔采用SUS304拉絲板，并且為整體式焊接工藝，保證了烘箱在運(yùn)行時(shí)的腔體內(nèi)清潔和預(yù)防了產(chǎn)品表面的沾污；

內(nèi)門結(jié)構(gòu)后門為單結(jié)構(gòu)，采用雙密封結(jié)構(gòu)，防止熱量流失；

整體框架的高度和水平度可通過地腳螺栓實(shí)現(xiàn)微調(diào)；

大容積的設(shè)計(jì)，由于改進(jìn)了隔斷和支撐板，可以同時(shí)承受更多的產(chǎn)品重量；

優(yōu)異的熱工性能，使加熱性能大大提高,運(yùn)行時(shí)不會(huì)影響環(huán)境，室內(nèi)溫度保持不變。

過程控制：

多段式程序控制，完全滿足現(xiàn)場(chǎng)各種工藝需求；

與配套AUTORECIPE軟件，實(shí)時(shí)溫度監(jiān)控軟件，可實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品烘箱運(yùn)行參數(shù)管理與生產(chǎn)運(yùn)行記錄、烘箱操作日志等，提高生產(chǎn)效率、控制產(chǎn)品品質(zhì)。

設(shè)備特點(diǎn)：

堅(jiān)持工藝優(yōu)先的設(shè)計(jì)原則,即先制定最為優(yōu)化的工藝配置，再確定設(shè)備結(jié)構(gòu)和布局，以確保工藝最穩(wěn)定，材料利用最合理，力求提升設(shè)備穩(wěn)定性和降低運(yùn)行成本；

本著人性化的設(shè)計(jì)理念,即在細(xì)節(jié)上充分考慮現(xiàn)場(chǎng)情況，并不斷完善設(shè)計(jì)，使現(xiàn)場(chǎng)使用者更加方便地使用，維護(hù)本烘箱；

可以提供各種標(biāo)準(zhǔn)和非標(biāo)準(zhǔn)腔體設(shè)計(jì)，包括溫度范圍，容量大小和烘箱形狀等；

提供高性價(jià)比的烤箱性能,溫度均勻性、溫度穩(wěn)定性、升溫速率、溫度恢復(fù)時(shí)間等工藝條件；

可定制層板，滿足承重與間距要求；

溫度均勻度依照GBT30435-2013；

設(shè)備安全符合TS16949/ISO14001/OHAS18001的標(biāo)準(zhǔn)；

滿足SECS/GEM標(biāo)準(zhǔn)的半導(dǎo)體封裝測(cè)試設(shè)備接口，工廠軟件可通過其SECS/GEM接口對(duì)烘箱進(jìn)行全面控制和監(jiān)控；

提供相應(yīng)的檢測(cè)報(bào)告，烘箱溫度校正報(bào)告、烘箱噪音檢測(cè)、烘箱表面SGS檢測(cè)等；

配套完整的產(chǎn)品使用手冊(cè)及說明。

基本功能配置：

電源缺相保護(hù)；

漏電保護(hù)器；

電磁門鎖（氣缸門鎖）；

過載保險(xiǎn)絲；

超溫保護(hù)器；

加熱器防干燒；

馬達(dá)轉(zhuǎn)速檢測(cè)；

N2壓力檢測(cè)；

N2過濾調(diào)壓閥；

選配功能：

在線氧含量檢測(cè)；

N2流量檢測(cè)；

高低溫表設(shè)定聯(lián)動(dòng)；

腔體壓力檢測(cè)；

自動(dòng)排風(fēng)裝置；

廢氣沉淀回收裝置；