MF-AO系列自動(dòng)烘箱是專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)用于半導(dǎo)體集成電路自動(dòng)化生產(chǎn)線(xiàn),與現(xiàn)場(chǎng)AGV,ROBOT等自動(dòng)化配合,實(shí)現(xiàn)無(wú)人操作,安全生產(chǎn)。
用途特點(diǎn):
本產(chǎn)烘箱品適用于半導(dǎo)體加工,LCD面板,PDP面板,觸摸屏等生產(chǎn)工藝。
技術(shù)特點(diǎn):
自動(dòng)化操作系統(tǒng)滿(mǎn)足現(xiàn)場(chǎng)無(wú)人操作的需求,自動(dòng)開(kāi)關(guān)門(mén)系統(tǒng)完全融入工廠(chǎng)自動(dòng)化系統(tǒng)中,根據(jù)遠(yuǎn)程指令動(dòng)作及反饋;
更加安全的烘箱,自動(dòng)門(mén)狀態(tài)、動(dòng)作聯(lián)鎖及多重保護(hù)措施,避免了系統(tǒng)間干涉出現(xiàn);
烘箱采用雙門(mén)設(shè)計(jì),自動(dòng)門(mén)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)生產(chǎn),手動(dòng)門(mén)進(jìn)行保養(yǎng)與應(yīng)急生產(chǎn)。腔體采用全不銹鋼鏡面,并且為整體式焊接工藝,保證了烘箱在運(yùn)行時(shí)的腔體內(nèi)清潔和預(yù)防了產(chǎn)品表面的沾污;整體框架設(shè)計(jì)能與外部輸送設(shè)備機(jī)構(gòu)聯(lián)動(dòng),保證動(dòng)作一致性。
過(guò)程控制:
烘箱加熱采用多段式程序控制,完全滿(mǎn)足現(xiàn)場(chǎng)各種工藝需求;
與工廠(chǎng)MES,CIM,EAP等配套軟件使用,可實(shí)現(xiàn)烘箱溫度監(jiān)控,產(chǎn)品運(yùn)行參數(shù)管理與生產(chǎn)運(yùn)行記錄。
設(shè)備特點(diǎn):
可以提供各種標(biāo)準(zhǔn)和非標(biāo)準(zhǔn)腔體設(shè)計(jì),包括溫度范圍,容量大小和烘箱形狀等;
溫度均勻度依照GBT30435-2013;
設(shè)備安全符合TS16949/ISO14001/OHAS18001的標(biāo)準(zhǔn)
提供高性?xún)r(jià)比的烤箱性能。溫度均勻性、溫度穩(wěn)定性、溫升速率、溫度恢復(fù)時(shí)間等工藝條件;
滿(mǎn)足SECS/GEM標(biāo)準(zhǔn)的半導(dǎo)體封裝測(cè)試設(shè)備接口,工廠(chǎng)軟件可通過(guò)其SECS/GEM接口對(duì)烘箱進(jìn)行全面控制和監(jiān)控;
提供相應(yīng)的檢測(cè)報(bào)告,烘箱溫度校正報(bào)告、烘箱噪音檢測(cè)、烘箱表面SGS檢測(cè)等;
配套完整的產(chǎn)品使用手冊(cè)及說(shuō)明。
型號(hào) | MF-AO****W/A | ||
1640 | 2640 | ||
循環(huán)系統(tǒng) | 熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng) | ||
性能參數(shù) | 溫度范圍 | RT. + 25°C~250°C | |
溫度波動(dòng)范圍 | (0-100℃)<±1℃(100-200℃)<±2℃ | ||
溫度均勻性 | (0-100℃)<1℃(100-200℃)<2℃ | ||
升溫時(shí)間 | < 30Min(175℃)& < 40Min(200℃) | ||
烘箱結(jié)構(gòu) | 烘箱外腔體選材 | 烤漆板、不銹鋼 | |
烘箱內(nèi)腔體選材 | SUS304 | ||
保溫材料 | 高密度陶瓷纖維棉 | ||
加熱 | 無(wú)塵加熱絲或不銹鋼加熱管 | ||
冷卻方式 | 水冷卻、風(fēng)冷卻、多段式冷卻 | ||
內(nèi)腔尺寸W *H *D (mm) | 640 *640* 1100 | 640 *640 * 550 | |
外形尺寸W * H *D (mm) | 1700 * 1100 * 1840 | 1800* 1100 * 2040 | |
容積 (L) | 160 | 450 | |
使用環(huán)境 | 溫度范圍: 小于 + 45°C 濕度范圍: 小于 75%rh | ||
動(dòng)力配置 | 電源配置 | AC380 3PH | AC380 3PH |
烘箱功率 | 13KVA | 20KVA |
基本功能配置:
漏電保護(hù)器;
電磁門(mén)鎖;
加熱保險(xiǎn)絲;
電源缺相保護(hù);
超溫保護(hù)器;
低溫保護(hù)器;
加熱器防干燒保護(hù);
馬達(dá)轉(zhuǎn)速檢測(cè)保護(hù);
UPS;
壓縮空氣檢測(cè);
N2流量檢測(cè);
水流量檢測(cè);
功能選配:
腔體氧含量在線(xiàn)檢測(cè);
高低溫聯(lián)動(dòng)檢測(cè);
腔體壓力檢測(cè);
自動(dòng)排風(fēng)閥;
廢氣沉淀回收裝置;
腔體空燒排污;
腔體內(nèi)除塵過(guò)濾網(wǎng)裝置;
服務(wù)熱線(xiàn):021-64307580