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MF-AO系列自動(dòng)烘箱
    發(fā)布時(shí)間: 2023-06-28 10:43    

MF-AO系列自動(dòng)烘箱是專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)用半導(dǎo)體集成電路自動(dòng)化生產(chǎn)線(xiàn)與現(xiàn)場(chǎng)AGV,ROBOT等自動(dòng)化配合,實(shí)現(xiàn)無(wú)人操作,安全生產(chǎn)。


MF-AO系列自動(dòng)烘箱

用途特點(diǎn):

本產(chǎn)烘箱品適用于半導(dǎo)體加工,LCD面板,PDP面板,觸摸屏等生產(chǎn)工藝

技術(shù)特點(diǎn): 

自動(dòng)化操作系統(tǒng)滿(mǎn)足現(xiàn)場(chǎng)無(wú)人操作的需求,自動(dòng)開(kāi)關(guān)門(mén)系統(tǒng)完全融入工廠(chǎng)自動(dòng)化系統(tǒng)中,根據(jù)遠(yuǎn)程指令動(dòng)作及反饋;

更加安全的烘箱,自動(dòng)門(mén)狀態(tài)、動(dòng)作聯(lián)鎖及多重保護(hù)措施,避免了系統(tǒng)間干涉出現(xiàn);

烘箱采用雙門(mén)設(shè)計(jì),自動(dòng)門(mén)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)生產(chǎn),手動(dòng)門(mén)進(jìn)行保養(yǎng)與應(yīng)急生產(chǎn)。采用全不銹鋼鏡面,并且為整體式焊接工藝,保證了烘箱在運(yùn)行時(shí)的腔體內(nèi)清潔和預(yù)防了產(chǎn)品表面沾污;整體框架設(shè)計(jì)能與外部輸送設(shè)備機(jī)構(gòu)聯(lián)動(dòng),保證動(dòng)作一致性

過(guò)程控制:

烘箱加熱采用多段式程序控制,完全滿(mǎn)足現(xiàn)場(chǎng)各種工藝需求;

工廠(chǎng)MES,CIM,EAP配套軟件使用,可實(shí)現(xiàn)烘箱溫度監(jiān)控,產(chǎn)品運(yùn)行參數(shù)管理與生產(chǎn)運(yùn)行記錄。

設(shè)備特點(diǎn):

可以提供各種標(biāo)準(zhǔn)和非標(biāo)準(zhǔn)腔設(shè)計(jì),包括溫度范圍,容量大小和烘箱形狀等;

溫度均勻度依照GBT30435-2013;

設(shè)備安全符合TS16949/ISO14001/OHAS18001的標(biāo)準(zhǔn)

提供高性?xún)r(jià)比的烤箱性能。溫度均勻性、溫度穩(wěn)定性、溫升速率、溫度恢復(fù)時(shí)間等工藝條件;

滿(mǎn)足SECS/GEM標(biāo)準(zhǔn)的半導(dǎo)體封裝測(cè)試設(shè)備接口,工廠(chǎng)軟件可通過(guò)其SECS/GEM接口對(duì)烘箱進(jìn)行全面控制和監(jiān)控;

提供相應(yīng)的檢測(cè)報(bào)告,烘箱溫度校正報(bào)告、烘箱噪音檢測(cè)、烘箱表面SGS檢測(cè)等;

配套完整的產(chǎn)品使用手冊(cè)及說(shuō)明。

   

型號(hào)

MF-AO****W/A

1640

2640

循環(huán)系統(tǒng)

熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)

性能參數(shù)

溫度范圍

RT. + 25°C~250°C

溫度波動(dòng)范圍

0-100℃<±1℃100-200℃<±2℃

溫度均勻性

0-100℃<1℃100-200℃<2℃

升溫時(shí)間

< 30Min175℃&  < 40Min200℃

烘箱結(jié)構(gòu)

烘箱外腔體選材

烤漆板、不銹鋼

烘箱內(nèi)腔體選材

SUS304

保溫材料

高密度陶瓷纖維棉

加熱

無(wú)塵加熱絲或不銹鋼加熱管

冷卻方式

水冷卻、風(fēng)冷卻、多段式冷卻

內(nèi)腔尺寸W *H *D mm

640 *640* 1100

640 *640 * 550

外形尺寸W * H *D mm

1700 * 1100 * 1840

1800* 1100 * 2040

容積 (L)

160

450

使用環(huán)境

溫度范圍: 小于 + 45°C  濕度范圍: 小于 75%rh

動(dòng)力配置

電源配置

AC380 3PH

AC380 3PH

烘箱功率

13KVA

20KVA

 

基本功能配置:


漏電保護(hù)器;

電磁門(mén)鎖;

加熱保險(xiǎn)絲;

電源缺相保護(hù);

超溫保護(hù)器;

低溫保護(hù)器;

加熱器防干燒保護(hù);

馬達(dá)轉(zhuǎn)速檢測(cè)保護(hù);

UPS;

壓縮空氣檢測(cè);

N2流量檢測(cè);

水流量檢測(cè);

功能選配:

腔體氧含量在線(xiàn)檢測(cè);

高低溫聯(lián)動(dòng)檢測(cè);

腔體壓力檢測(cè);

自動(dòng)排風(fēng)閥;

廢氣沉淀回收裝置;

腔體空燒排污;

腔體內(nèi)除塵過(guò)濾網(wǎng)裝置;










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